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陶瓷研磨盤

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掃一掃!陶瓷研磨盤掃一掃!
瀏覽:- 發(fā)布日期:2020-05-18 17:14:25【

產(chǎn)品描述

用于半導(dǎo)體硅片研磨、單晶硅的加工領(lǐng)域等

產(chǎn)品特點

目前,采用陶瓷研磨盤研磨半導(dǎo)體硅片是優(yōu)越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進(jìn)行研磨,通過改善研磨工藝(磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等)來提高研磨片的質(zhì)量;尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤,避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染,減少了金屬離子的引入,可減少硅片的后續(xù)加工量,縮短了后續(xù)工序(腐蝕)時間,提高了生產(chǎn)效率,而且減少了硅片加工的損耗,提高了硅片的利用率。

產(chǎn)品圖片

P004

P005

P001

性能

順鵬陶瓷

國內(nèi)水平

國外水平

密度(g/cm3

3.97

3.81-3.93

3.9-3.94

純度(%

99.9

98-99.8

99.5-99.9

維氏硬度(GPa

17

14-15

16-17.5

三點抗彎強(qiáng)度(MPa)

520

300-350

330-400

 

產(chǎn)品規(guī)格

∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、園環(huán)(尺寸可以定制)

順鵬優(yōu)勢

我司還可以生產(chǎn)以下規(guī)格的高端陶瓷:

1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板;

2、1000×45×45mm以下的導(dǎo)軌;

3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等

4、各種形狀的異形件定制產(chǎn)品

我們的產(chǎn)品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國家,順鵬可提供耐磨陶瓷技術(shù)解決方案,將提供適合您要求的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

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